志尚儀器股份有限公司--JUSUN INSTRUMENTS CO., LTD.

周界/煙道/製程
特殊氣體分析儀

半導體晶圓廠高級及製程主管注意
您希望控制下列氣體以提升產品的良率?
IMS系統提供您最佳解決方案

即時監測 ppt級微量腐蝕性氣體(NH3/Total Amines/ Total Acid...等)

操作簡單, 維修簡易 (6個月)

具HMI人機介面多點監測系統 (4~64點)

國內已有 ERSO、INER、U Groups、T Groups、Mosel、Promos Fab 1&12&中科、MXIC、Windbond Fab 4&5&中科、VIS、Nan-Ya、PMS、鴻海、Inotera...等約95%的各
大半導體廠陸續使用中

國外亦有Ixtel、AxD、IxM、AT&T、AMP、Philips、
Sematech、Motorola、Thomson、Micron、Graner、TEL...等大廠使用中

目前中國大陸已有中芯(SMIC)所有廠區、宏力(GSMC)及
和艦使用中

IMS System
半導體DUV製程
微量氣體監測分析儀

Point Of Use
單點式 IMS 氣體分析儀

19" Rack Mounted
盤面式IMS氣體分析儀