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乾式氣體校正器暨採樣系列 |
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 Defender
510/520(進階版)
原級體積流量校正器 |
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機型種類 |
流量範圍 |
流量誤差 |
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Defender 510/520原級體積流量校正器 |
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| * Model 520
可顯示壓力及溫度數值 |
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Definer
220原級體積/標準流量校正器 |
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機型種類 |
流量範圍 |
流量誤差 |
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Definer 220 |
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原級精密型標準流量校正器 |
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機型種類 |
流量範圍 |
體積流量誤差 |
標準流量誤差 |
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ML-800實驗室級流量校正器 |
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ML800-10(Low) |
5-500
sccm |
- |
±0.15％Standardized |
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ML800-24(Medium) |
50-5000
sccm |
- |
±0.15％Standardized |
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ML800-44(High) |
500-50000 sccm |
- |
±0.15％Standardized |
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ML-500實驗室級流量校正器 |
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ML500-10(Low) |
5-500
sccm |
±0.25％Volumetric |
±0.40％Standardized |
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ML500-24(Medium) |
50-5000
sccm |
±0.20％Volumetric |
±0.35％Standardized |
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ML500-44(High) |
500-50000 sccm |
±0.25％Volumetric |
±0.40％Standardized |
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ML-1020實驗室級
大流量校正器 |
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5-500
sl/min. |
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5-50
sl/min. |
± 0.5% of
reading |
± 0.5% of
reading |
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50-500 sl/min |
±0.25% of
reading |
±0.25% of
reading |
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