|
|
| Acid/Base/Organic過濾系統 |
 |
|
|
有關 V-Bed 圖解
|
Cost Down的最佳選擇
- Donaldson提供您DUV製程中去除Total
Amines、Ammonia、NMP、HMDS…等
微量氣體的最佳方式
--價格經濟, 較日本產品價格低 1/2 - 1/3
--使用期限長, 一般可使用 9-12 個月
--高去除效率
NH3 > 99.5
%
NMP > 99
%
HMDS > 99
%
Amines > 99
%
--採模組化(Module)化設計,易於更換
- --特殊以 Citric Acid (檸檬酸) 處理過的活性
碳床, 可輕易的吸附 Amines、Ammonia、
NMP及 HMDS … 等微量氣體, 不僅無以
硫酸或鹽酸等強酸處理的腐蝕問題 , 亦
無拋棄時的二次公害問題
--過濾系統採專利熱交換技術設計, 採直立
式不僅只需 0.5平方公尺的安裝面積 , 並
可使氣體快速且均勻分佈的通過每組濾
床, 以提高吸附效率及吸附容量
--可裝設於各家STEPPER及TRACK中, 如 :
ASML、Cannon、NIKON、DNS、TEL、
SVG、FSI … 等
|
|
新一代的 LithoGuard
- --模組化設計, 可安裝 5/7/8/12組
(LG-5/7/300/12)
--每組過濾模組最大風量為 : 210 CFM
--所需空間僅需 :
68.3 X 70.7 cm
--NH3 去除效率可達 99.5 % 以上
--NMP/HMDS 及其他
Amines去除效率
亦可達 99% 以上
- --外殼採不銹鋼設計, 符合 Clean Room
- 規範
--濾袋採抽取式設計, 更易於更換.
--可僅更換內部濾材以節省開支
--具 BaseCheck 氣體濃度顯示設計, 提
醒您更換濾材時間
--可依需要懸掛於機台上方
|
|
 |
|
Donaldson ChemCore
提供您優質的 FFU/MAU/Tracks Filters
 |
 |
|
-
-
 |
|
公司地址：台北縣新店市民權路108-4號9樓
服務專線：(02)22195511 高雄公司：(07)8156161
免付費服務專線 : 080-000501 網站位置:
www.jusun.com.tw |
|
|
