志尚儀器股份有限公司-JUSUN INSTRUMENTS CO., LTD.

UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀

產品型號:Model 9010
UPW及CMP Slurry線上微顆粒監測儀
Model 9010 Scanning TPC
廠牌:KANOMAX FMT
供應商:志尚儀器股份有限公司
13590
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  • •專利氣化裝置(Nebulizer)-三種粒徑量測範圍(由10 到30 nm)
    •除了可偵測一般的Particle 外另主要可測得一般OPC粒子計數器無法量測到的非揮發性的殘餘生物氣膠(小於20 nm)–
    •觸控式面板易於操作
    •總流量只需要100-280 ml/min.
     
    專利技術提供您線上監控 UPW 或 Slurry 中 20nm 以下 Particle 最小偵測感度可達 10 nm
     
    優點 :
    - 專利氣化裝置(Nebulizer)
    - 三種粒徑量測範圍
       (10/15/20 nm)
    - 符合 SEMI C79 “Guide to Evaluate
       the Efficacy of Sub-15 nm Filters
       used in Ultrapure Water (UPW)
       Distribution Systems.”及
       SEMI C93 “Guide for Determining
       the Quality of Ion Exchanged Resin
       used in Polish Applications of
      Ultrapure Water (UPW) Systems.”
     
    應用範圍 :
    適用於 UPW 系統或相關濾材測試CMP 研磨液研磨粒子粒徑分布分析
     
     
    •Three Size-Selectable channels ranging from 10-30 nm
    •Max. UPW Nonvolatile Residue : 200 pptat 10 nm threshold, 1 ppb at 20 nm
    •Touch Screen and easy to use with set up
    •Total flow rate is 100-280 ml/min.
     
    其他產品線
    - Liquid Nanoparticle Sizer System
      (LNS) for UPW or Slurry Application
    - Nebulizer
    - NRM, Non-volatile Residue Monitor
    - Precision Dilute System
    - Nanoparticle Std.