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採用最新的IMS 技術。 |
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可連接相關採樣設備提供您24小時監測數據。 |
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提供您ppb or Sub. ppb 級微量氣體偵測。 |
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單機即可提供您NH3、Total Amines、TotalAcid、HCl、HF…等氣體分析。 |
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操作簡單，維修簡易；並具4-20 mA輸出可連接到FMCS 做多點監測系統。 |
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台灣已有近九成五的晶圓廠使用過IMS 技術。 |
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國外亦有Intel、AMD、IBM、AT&T、AMP、Sematech、Micron、Graner、TEL、Motorola、Philips、Thomson ... 等大廠使用。 |
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中國大陸方面已有中芯國際、宏力、和艦等晶圓廠率先使用中。 |
