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志尚儀器股份有限公司-JUSUN INSTRUMENTS CO., LTD.

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最新光聲光頻(PAS)技術可同時量測Sub ppb等級Ammonia及HF氣體洩漏

產品型號：Series 6000 PAS Analyzer
最新光聲光頻(PAS)技術可同時量測Sub ppb等級Ammonia及HF氣體洩漏
AMC Monitor (PAS Technology)
廠牌：Molecular Analysis
供應商：志尚儀器股份有限公司
7396
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產品規格 Spec. Notes
  • 最新光聲光頻(PAS)技術
    •可同時量測Sub ppb等級
    •Ammonia及HF氣體洩漏
    •校正線性(R2達0.9989以上)
    •Range : 0.5~10000 ppb
    •符合 Semi ITRS 2015 Guide 中所建議的 AMC 分析方式
     

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