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志尚儀器股份有限公司-JUSUN INSTRUMENTS CO., LTD.

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>高科技廠房製程與廠務分析設備/半導體製程暨廠務分析設備/

殘餘氣體分析儀

產品型號：RGA
殘餘氣體分析儀
Residual Gas Analyzers
廠牌：Extrel
供應商：志尚儀器股份有限公司
9820
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產品規格 Spec. Notes
  • •模組化設計，易於安裝與維護
    •量測範圍：11-100/1-300amu
    •解析度<0.5amu
    •內建Pirani Gauge(派藍尼真空計)以及B-A型真空計可測量全部壓力
    •具備高測量速度，穩定性和分辨率
    •最小檢測分壓5X10-14托‧暖機預熱時間只需30分鐘
    •雙燈絲及過壓保護
    •可程式調整電子和離子源能量
    •圖形操作界面易懂直觀
    •具USB及RS-232介面
    •其他範圍可由2-250到2-1000amu
     

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