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志尚儀器股份有限公司-JUSUN INSTRUMENTS CO., LTD.
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全新第四代無放射性 IMS 分析儀
產品型號:Series 6000 IMS
全新第四代無放射性 IMS 分析儀
IMS Analyzer for AMC
廠牌:
Molecular Analysis
供應商:志尚儀器股份有限公司
10443
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產品規格
Spec.
Notes
全新第四代離子電泳分析儀
•最新 IMS 技術, 符合 SEMI IRDS 2017 Guide 中 AMC Method
•無 Chemical Dopant 等消耗品
無放射源無需管制
•可檢測 NH3 & Amines以及多種成分的酸性氣體(如: Cl2、HCl、SO2、HF…等)與多種 VOC 成分
•具進樣口與 Cell 加溫系統可避免樣品冷凝沉澱污染 Cell
•具 Baked Out 功能不因高濃度樣品導致偵測器汙染
•低壓損智能型採樣系統: up to 45 點
產品關鍵字
半導體工業製程相關儀器設備;
半導體製程暨廠務分析設備;
Molecular Analysis;
氣體分析;
氣體分析儀;
半導體相關工安與製程分析設備;
IMS;
AMC;
高科技廠房製程與廠務分析設備;
志尚儀器股份有限公司;
新北市新店區民權路108-4號9樓;
JUSUN INSTRUMENTS CO., LTD.;
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