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志尚儀器股份有限公司-JUSUN INSTRUMENTS CO., LTD.

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>高科技廠房製程與廠務分析設備/半導體製程暨廠務分析設備/

全新第四代無放射性 IMS 分析儀

產品型號：Series 6000 IMS
全新第四代無放射性 IMS 分析儀
IMS Analyzer for AMC
廠牌：Molecular Analysis
供應商：志尚儀器股份有限公司
9602
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產品規格 Spec. Notes
  • 全新第四代離子電泳分析儀
    •最新 IMS 技術, 符合 SEMI IRDS  2017 Guide 中 AMC Method
    •無 Chemical Dopant 等消耗品
      無放射源無需管制
    •可檢測 NH3 & Amines以及多種成分的酸性氣體(如: Cl2、HCl、SO2、HF…等)與多種 VOC 成分
    •具進樣口與 Cell 加溫系統可避免樣品冷凝沉澱污染 Cell
    •具 Baked Out 功能不因高濃度樣品導致偵測器汙染
    •低壓損智能型採樣系統： up to 45 點

     

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