以往要將氣體樣品導入ICP是不可能的。而現在，憑藉將樣品氣體中的微粒子導入氬氣的獨特技術，實現了 將氣體樣品直接導入ICP。基本型是直接分析氣體樣品中浮游微粒子的氣體樣品導入裝置（GED-01）及提高了樣品氣體置換量上限的大容量型號（GEDQ01），與可以測定樣品氣體中氣體成分的氣體微粒子化裝置（ GPD-01）,操作簡單，大幅提高測定精度的金屬元素標準氣體發生裝置（MSGG-01），可進行更高感度測定的氮氣流量控制器（N2U-01)等進行組合，可以直接分析各類樣品
•可直接將氣體或微粒經由此裝置導入ICP‐MS 連續監測氣態與奈米微粒所含之無機物或重金屬元素
•連接ICP‐MSD 可達5 ppt LDL
•可分析Dopants及Bulk Gases 內種類:AsH3、PH3、B2H6、BF3、SiH4、GeH4、H2S、SO2….等
•具標準金屬元素產生器可校正系統
Arsine / Air
0-5 / 0-500 ppt
GeH4 / Air
0-25 / 0-2500 ppt
