志尚儀器股份有限公司-JUSUN INSTRUMENTS CO., LTD.

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Cleanroom AMC 酸鹼氣體分析系統

產品型號:SI-6000
Cleanroom AMC 酸鹼氣體分析系統

廠牌:Molecular Analysis
供應商:志尚儀器股份有限公司
3668
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  • 特點
    -可採用不同原理配置(PPWD、MS、UV、CRDS、PAS、PID、FID …等原理)
    -準確可靠, 高穩定性,靈敏度和可靠性
    -檢測極限可低至Sub. ppb
    -符合SEMI ITRS 2015 AMC 分析方法
    -可連續準確監測有機和無機氣體
    -測量項目包括NH3、總胺、HF、HCl、Cl2、SO2、H2S、TS、總酸、TVOC和個別成分的VOC
     
    應用
    ‐潔淨室環境微污染控制製程監測
    ‐大氣環境酸鹼氣體監測
    ‐研發與學術研究等