符合
SEMI C79-0113 “Guide to Evaluate the Efficacy of Sub-15 nm Filters used in Ultrapure Water (UPW) Distribution Systems.”及
SEMI C93-0217 “Guide for Determining the Quality of Ion Exchanged Resin used in Polish Applications of Ultrapure Water (UPW) Systems.”
優點
• 客製化整合完整系統，可以極大化提高應答時間和精度。
• 可量測實際濃度，而不是相對濃度。
• 提供高解析粒徑分佈 (64 Channels Per Decade) 量測，並具有 3-350
(小粒徑)或 8-1200 nm 的寬尺寸測量範圍。
• 量測與樣品粘度、溫度、 顆粒材料、 顆粒形狀和顆粒表面性質無關
• 可以進行單獨粒徑的大小及數量分析。
• 快速分析, 以最少的樣品製備可以在 < 5分鐘的分析時間內進行測量
• 無需調節劑來調節樣品電導率。
• 非常適合用於測量膠體顆粒尺寸<30nm中含有會與樣品干擾的溶解
殘餘物。
• 可提供長期穩定的運行。
• 粒子 - 粒子間相互作用不影響分析。
• 無需複雜的反轉程序或數據分析。
• 多模態尺寸分佈。
